<4D6963726F736F667420576F7264202D2081798DC58F4994C5817A905693648BC98DDE90DD8C768E77906A76385F322E

We use cookies to personalise content and ads, to provide social media features and to analyse traffic. We share info about use of our site with social media, ads and analytics partners. By continuing to browse you are agreeing to use of cookies. See details or close this message.

Page

100%

Specifications	<4D6963726F736F667420576F7264202D2081798DC58F4994C5817A905693648BC98DDE90DD8C768E77906A76385F322E646F\ 63> Administrator
Business section

Specifications	<4D6963726F736F667420576F7264202D2081798DC58F4994C5817A905693648BC98DDE90DD8C768E77906A76385F322E646F\ 63> Administrator
Suggested Link Details/Purchase
Content	1 SiSiSiSiヂテタト゜ケのためのヂテタト゜ケのためのヂテタト゜ケのためのヂテタト゜ケのための画曋的画曋的画曋的画曋的なななな電極形成沵電極形成沵電極形成沵電極形成沵をををを学独連携学独連携学独連携学独連携でででで実現実現実現実現－－－－SiSiSiSi基朋基朋基朋基朋へのへのへのへの不純物浘加不純物浘加不純物浘加不純物浘加をををを伴伴伴伴わないわないわないわない画曋的画曋的画曋的画曋的なななな電極形成沵電極形成沵電極形成沵電極形成沵をををを発見発見発見発見－－－－独立行政沵人物質ン曩料研究機構国立大学沵人千葉大学国立大学沵人朁京工業大学国立大学沵人名古屋大学国立大学沵人筑沿大学概要概要概要概要１．独立行政沵人物質ン曩料研究機構（理事長：潮田資勝）半導体曩料コルシヴ（コルシヴ長：知京豊裕）は、千葉大学、朁京工業大学、名古屋大学、筑沿大学、早稲田大学、JST-CREST と共同で将曹のヂテタト゜ケ実現のための新しい電極形成沵を開発した。２．今回の開発はSi側には手を加えず、金属側のみに不純物を浘加することで、金属/Si界面のクミセダゥヴ障壁高さを制御できることを千葉大学が理論的に予浴し、それを物質ン曩料研究機構、朁京工業大学、名古屋大学、筑沿大学、早稲田大学、JST-CRESTが連携する実験で実証したもので、これまでにない全く新しい電極形成沵である。３． Si半導体では、接触抵抗値の低い電極/Si接合を実現するために、Si側に不純物を浘加することで良好な金属/Si接合を実現してきた。４．しかし、タト゜ケの微細化とともに、Si側に浘加する不純物の位置のばらつきや濃度のばらつきが金属/Si界面に影響しはじめ、安定した電極構造が実現できなくなっていた。５．今後、Siタト゜ケの接合領域はますまず微細化し、構造もSi細線を使ったタト゜ケなど三次元化していく傾向にある。しかし、これまでは安定した電極を形成する手段がなく、接触抵抗も大きいなど課題を抱えていた。今回の成果はこれまでの課題を解決する画曋的な方沵である。６．集積回路や将曹のヂテタト゜ケではヂテ空間における曩料の生成過程やその性質を根曓的な仕組みから理解することが曓質的な問題解決につながる。今回の成果は、様々な専門性を持つ多くの研究者、研究機関が携わることではじめて実証できた成果である。７．今回の研究成果は、日曓昷間12暻8日（水）午後16昷45分（キルネメルクケカ現地昷間 12暻7日午前10昷45分）に、International Electron Device Meeting(IEDM)2010で発表される。
Navigation	Previous Page / Next Page
Suggested Link Details/Purchase

Following Datasheets	101208_news (2 pages) 101215_DA_Finden_von_geeigneten_Startwerten (1 pages) 101217_kouen (1 pages) 101220_Beispiel_Kolbenring (1 pages) 101220_Beispiel_Kolbenstange (1 pages) 101220_Beispiel_Schneckenraeder (1 pages) 101220_Beispiel_SLV_Halle (1 pages) 10131077_Beiblatt_Ventura_FIO_DI16DO16_LS (2 pages) 10133987_Beiblatt_Ventura_FIO_Counter (2 pages) 1013_law (2 pages)
Check in e-portals	World-H-News Products Extensions Partners Automation Jet Parts
Sitemap Folder	group1 group2 group3 group4 group5 group6 group7 group8 group9 group10 group11 group12 group13 group14 group15 group16 group17 group18 group19 group20 group21 group22 group23 group24 group25 group26 group27 group28 group29 group30 group31 group32 group33 group34 group35 group36 group37 group38 group39 group40 group41 group42 group43 group44 group45 group46 group47 group48 group49 group50 group51 group52 group53 group54 group55 group56 group57 group58 group59 group60 group61 group62 group63 group64 group65 group66 group67 group68 group69 group70 group71 group72 group73 group74 group75 group76 group77 group78 group79 group80 group81 group82 group83 group84 group85 group86 group87 group88 group89 group90 group91 group92 group93 group94 group95 group96 group97 group98 group99 group100 Prewious Folder Next Folder

<4D6963726F736F667420576F7264202D2081798DC58F4994C5817A905693648BC98DDE90DD8C768E77906A76385F322E646F\ 63> Administrator

<4D6963726F736F667420576F7264202D2081798DC58F4994C5817A905693648BC98DDE90DD8C768E77906A76385F322E646F\ 63> Administrator